4月9日消息，国家知识产权局信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“曝光系统的控制方法和曝光系统”的专利，授权公告号CN115981113B，授权公告日为2026年4月7日。申请公布号为CN115981113A，申请号为CN202310159619.6，申请公布日期为2026年4月7日，申请日期为2023年2月21日，发明人蔡健、张玉喆、孙召召、程建高、叶加良、戴晓霖、陈东，专利代理机构北京景闻知识产权代理有限公司，专利代理师李芳，分类号G03F7/20。
专利摘要显示，本发明公开了一种曝光系统的控制方法和曝光系统，所述曝光系统的控制方法包括：获取所述曝光系统的工作参数和所述曝光系统的感光材料的曝光剂量输入值；根据所述工作参数和所述曝光剂量输入值获得所述脉冲激光器单脉冲发射能量；获取所述运动平台的位置同步信号；根据所述位置同步信号和所述单脉冲发射能量控制所述脉冲激光器发射激光；根据所述位置同步信号控制所述空间光调制器的翻转状态。采用该方法可以通过控制脉冲激光器输出激光脉冲，从而解决了运动平台的扫描速度提升产生的横线线条过粗的问题，有效提升了曝光系统的产能，保证了曝光图形的正确性，并且由于采用脉冲激光器，提高了曝光图形的精度和激光器能量的利用率。
芯碁微装成立于2015年6月30日，于2021年4月1日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均涉及安徽省合肥市。公司是国内微纳直写光刻设备领域的领先企业，核心业务为直写光刻设备及相关服务，具备技术壁垒优势。
芯碁微装所属申万行业为机械设备 - 专用设备 - 其他专用设备，涉及光刻机、光刻胶、年度强势等概念板块。公司主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售及维保服务，产品功能覆盖多领域光刻环节。
2025年，芯碁微装营业收入14.08亿元，行业排名8/16，与行业第一名科达制造173.89亿元、第二名豪迈科技110.78亿元有差距，高于行业中位数12.43亿元，低于行业平均数35.56亿元。主营业务中，PCB系列占比76.69%，收入10.8亿元；泛半导体系列占比16.58%，收入2.33亿元；租赁及其他占比6.21%，收入8739.3万元；其他(补充)占比0.52%，收入738.1万元。净利润2.9亿元，行业排名6/16，低于第一名豪迈科技23.95亿元、第二名科达制造21.67亿元，高于行业中位数1.31亿元，低于行业平均数4.69亿元。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种改善PCB油墨色差的多次曝光偏移方法及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610107704.1 | 2026-01-27 | CN121763669A | 2026-03-31 | 孟鑫瑞、贾威强 |
| 2 | 直写式光刻机及其曝光同步诊断方法和信号同步处理单元 | 发明专利 | 公布 | CN202610093213.6 | 2026-01-23 | CN121763668A | 2026-03-31 | 徐从浩、童诚、王振亚 |
| 3 | 一种用于印刷电路板PCB的检测方法及系统 | 发明专利 | 公布 | CN202610020506.1 | 2026-01-08 | CN121784849A | 2026-04-03 | 章晋凡、刘鑫、沈古飞、焦官华 |
| 4 | 基于提前测距的动态追焦光学测量系统、方法及设备 | 发明专利 | 公布 | CN202512001839.8 | 2025-12-29 | CN121741698A | 2026-03-27 | 谢鹍、张润晨、石庆林 |
| 5 | 一种可折展的压紧机构及LDI设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520797048.3 | 2025-04-24 | CN224005412U | 2026-03-17 | 汪志全、梁旭 |
| 6 | 光学测距装置和激光直写曝光机 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510416740.1 | 2025-04-03 | CN120293010A | 2025-07-11 | 徐剑锋、穆璐、姜蔚然 |
| 7 | 激光加工装置和激光加工系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202510309673.3 | 2025-03-17 | CN120095316A | 2025-06-06 | 刘孟辉、赵尚州 |
| 8 | 用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机 | 实用新型 | 授权 | CN202520419485.1 | 2025-03-11 | CN224020147U | 2026-03-20 | 葛星雨、朱会敏、曹桂林、卢小齐、孙文彪 |
| 9 | 吸附组件及具有其的曝光装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510276930.8 | 2025-03-10 | CN119987158A | 2025-05-13 | 叶飞、程刚、项宗齐、汪涛 |
| 10 | 吸附组件及具有其的曝光装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520372061.4 | 2025-03-05 | CN223692643U | 2025-12-19 | 于成信 |
| 11 | LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510224817.5 | 2025-02-27 | CN119805888A | 2025-04-11 | 赵祥宝、郑超、朱远哲、高晓锋 |
| 12 | LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 | 发明专利 | 授权 | CN202510225750.7 | 2025-02-27 | CN119805889B | 2025-11-28 | 赵祥宝、蔡志鸿 |
| 13 | 一种抖动分板装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520211748.X | 2025-02-11 | CN223792483U | 2026-01-13 | 陆原、束义、刘汉云 |
| 14 | 应用于直写光刻机的纠偏对位方法及装置、介质和光刻机 | 发明专利 | 授权 | CN202510148769.6 | 2025-02-11 | CN119805879B | 2026-04-03 | 王克、程建高 |
| 15 | 一种双台面曝光机 | 实用新型 | 授权 | CN202520171673.7 | 2025-01-25 | CN223796823U | 2026-01-13 | 于成信 |
| 16 | 一种曝光面剂量修正系统 | 实用新型 | 授权 | CN202520171669.0 | 2025-01-25 | CN223796822U | 2026-01-13 | 李志豪、董邦林、穆璐、宋照爱 |
| 17 | 一种插框自动收放板装置 | 发明专利 | 授权 | CN202510120189.6 | 2025-01-25 | CN119822052B | 2026-03-13 | 焦官华、陆原、束义、刘汉云 |
| 18 | 一种插板夹持装置 | 发明专利 | 授权 | CN202510120188.1 | 2025-01-25 | CN119822051B | 2026-03-17 | 陆原、焦官华、束义、刘汉云 |
| 19 | 运动曝光工作台、曝光系统和曝光的控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510110128.1 | 2025-01-23 | CN119644681A | 2025-03-18 | 李辉 |
| 20 | 运动曝光工作台及具有其的曝光系统 | 实用新型 | 授权 | CN202520160598.4 | 2025-01-23 | CN223911162U | 2026-02-13 | 李辉 |
| 21 | 提升UV激光钻孔加工工艺的激光钻孔设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510057567.0 | 2025-01-14 | CN119794623A | 2025-04-11 | 刘孟辉、赵尚州 |
| 22 | 基于偏转镜实现光束分束及调控的激光并行加工设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520083435.0 | 2025-01-14 | CN223932816U | 2026-02-24 | 刘孟辉 |
| 23 | 激光钻孔独立动态调控的多AOM级联设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520083520.7 | 2025-01-14 | CN223932871U | 2026-02-24 | 刘孟辉 |
| 24 | 激光二极管的散热装置、高功率半导体激光器及组装方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510016572.7 | 2025-01-06 | CN119994629A | 2025-05-13 | 刘亮、杨凯 |
| 25 | 一种半导体空间光激光器镜片的调试工装及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510016571.2 | 2025-01-06 | CN120002560A | 2025-05-16 | 刘亮、杨凯 |
| 26 | 激光器外壳及半导体空间光激光器 | 实用新型 | 授权 | CN202520025368.7 | 2025-01-06 | CN223797724U | 2026-01-13 | 刘亮、金伟龙、杨凯 |
| 27 | 曝光装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423309294.4 | 2024-12-31 | CN223566032U | 2025-11-18 | 叶飞 |
| 28 | 应用于光头底板的散热机构及其曝光机 | 实用新型 | 授权 | CN202423314307.7 | 2024-12-31 | CN223712003U | 2025-12-23 | 张文龙、梁旭 |
| 29 | 直写式光刻机曝光控制方法及装置、介质和直写式光刻机 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411904595.3 | 2024-12-23 | CN119556532A | 2025-03-04 | 王超、梅文辉、赵美云、邵德洋 |
| 30 | 自动上下料装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423178878.2 | 2024-12-23 | CN223572237U | 2025-11-21 | 张亮、赵尚州、李辉、岳览 |
| 31 | 吸附总成及具有其的光刻装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202411726109.3 | 2024-11-28 | CN119511647A | 2025-02-25 | 侯庆伟、汪涛 |
| 32 | 提高无掩膜光刻机曝光功率密度的装置、方法及光刻机 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202411720670.0 | 2024-11-28 | CN119292005B | 2025-10-10 | 卞洪飞、张辉、叶加良、陈东 |
| 33 | 基于空间光调制的双波段激光图形化微纳制造装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411700772.6 | 2024-11-26 | CN119387805A | 2025-02-07 | 张辉、卞洪飞、叶加良、陈东 |
| 34 | 夹取装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422891408.4 | 2024-11-26 | CN223385416U | 2025-09-26 | 李冬青、李香滨、焦官华、徐欣 |
| 35 | 一种真空吸附固定式晶圆载台 | 实用新型 | 授权 | CN202422718008.3 | 2024-11-06 | CN223598699U | 2025-11-25 | 于成信 |
| 36 | 夹紧总成及具有其的光刻装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422674996.6 | 2024-11-04 | CN223666547U | 2025-12-12 | 王历先、梁旭、张文龙 |
| 37 | 一种能够快速更换过滤器的风机过滤装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422675578.9 | 2024-11-01 | CN223425389U | 2025-10-10 | 程强 |
| 38 | 曝光总成及具有其的光刻设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411543995.6 | 2024-10-31 | CN119126500A | 2024-12-13 | 张浩为、刘孟辉、武林 |
| 39 | 一种用于LDI设备的气动遮光装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422670377.X | 2024-10-31 | CN223401139U | 2025-09-30 | 张文龙 |
| 40 | 一种用于DMD芯片散热的水冷系统 | 实用新型 | 授权 | CN202422670371.2 | 2024-10-31 | CN223598092U | 2025-11-25 | 张文龙、梁旭、王历先 |
| 41 | 单台面LDI曝光机 | 外观专利 | 授权 | CN202430676628.8 | 2024-10-25 | CN309380230S | 2025-07-11 | 王历先、项宗齐、梁旭 |
| 42 | FPD边缘曝光打码设备 | 外观专利 | 授权 | CN202430676627.3 | 2024-10-25 | CN309385911S | 2025-07-15 | 程强 |
| 43 | 高效单机双面曝光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411492573.0 | 2024-10-24 | CN119200348A | 2024-12-27 | 曲鲁杰、程刚 |
| 44 | 高效单机双面曝光设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422576617.X | 2024-10-24 | CN223217782U | 2025-08-12 | 曲鲁杰、程刚 |
| 45 | 聚焦总成及具有其的光刻装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411486173.9 | 2024-10-23 | CN119126499A | 2024-12-13 | 徐剑锋、戴晓霖、黄思航 |
| 46 | 标定总成及具有其的曝光装置 | 实用新型 | 授权 | CN202421971890.6 | 2024-08-13 | CN223260027U | 2025-08-22 | 叶飞 |
| 47 | 激光加工设备 | 外观专利 | 授权 | CN202430502595.5 | 2024-08-08 | CN309288976S | 2025-05-13 | 张亮 |
| 48 | 光刻靶标图像去模糊的方法及装置、去模糊模型和光刻机 | 发明专利 | 公布 | CN202411056926.2 | 2024-08-02 | CN118840287A | 2024-10-25 | 冯浩川、郑超、王辰扬 |
| 49 | 直写光刻设备和曝光控制方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411056139.8 | 2024-08-02 | CN118884780B | 2025-09-16 | 张敏、戴晓霖、武邵东 |
| 50 | 一种具有视觉相机装置的激光加工设备 | 实用新型 | 授权 | CN202421856554.7 | 2024-08-01 | CN223418627U | 2025-10-10 | 张亮、董帅 |
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